喜開(kāi)理過(guò)濾減壓閥分類(lèi)及參數(shù)

 通過(guò)變更滑鍵的組裝方向，可任意從鎖定型變更為非鎖定型。

可與真空過(guò)濾器VFA3000或VFA4000進(jìn)行模塊化連接。

采用基于噴嘴擋板的先導(dǎo)壓力控制方式。

采用禁油規(guī)格•不銹鋼閥體，適合半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N2的壓力控制。另外，由于緊湊•大流量，因此適合空氣（N2）吹氣。

實(shí)施清洗（氣體接觸部分），在潔凈室內(nèi)進(jìn)行從組裝到包裝的。

因主閥芯與閥孔配合過(guò)緊，或裝配時(shí)拉毛閥孔或閥芯，將閥芯卡死在開(kāi)度位置上，此時(shí)可選配合理的間隙。J型減壓閥配合間隙一般為0. 007～0. 015mm，配前可適當(dāng)研磨閥孔，再配閥芯。

主閥芯短阻尼孔或閥座孔堵塞，失去了自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)能，主閥彈簧力將主閥推往開(kāi)度，變成直通無(wú)阻，進(jìn)口壓力等于出口壓力?？捎忙?. Omm鋼絲或用壓縮空氣吹通阻尼孔，并進(jìn)行清洗再裝配。

帶阻尼孔的阻尼件是壓入主閥芯內(nèi)的，使用中有可能因過(guò)盈量不夠而沖出。沖出后，使進(jìn)油腔與出油腔壓力相等（無(wú)阻尼），而閥芯上下受力面積相等，但出油腔有一彈簧，所以主閥芯總是處于開(kāi)度的位置，使出口壓力等于入口壓力。此時(shí)需重新加工外徑稍大的阻尼件并重新壓入主閥芯。

對(duì)邊50mm的緊湊尺寸，并實(shí)現(xiàn)了0.8?/min的大流量。

（1次壓力0.7MPa、設(shè)定壓力0.5MPa、壓力降0.1MPa時(shí)的流量）

無(wú)潤(rùn)滑脂規(guī)格、緊湊、省空間型的小型直動(dòng)減壓閥。

通過(guò)使用快插接頭，提高了操作性。適用于要求省空間、精度、無(wú)潤(rùn)滑脂的半導(dǎo)體制造的后工序、IT領(lǐng)域、小物件裝配等。

 喜開(kāi)理過(guò)濾減壓閥分類(lèi)及參數(shù)